导读 【阿斯麦和IMEC联合光刻实验室启用】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么回事吧...
【阿斯麦和IMEC联合光刻实验室启用】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么回事吧!
1、据界面新闻,比利时微电子研究中心(IMEC)和阿斯麦6月3日宣布,由双方共同运营的High-NA EUV光刻实验室(High NA EUV Lithography Lab)在荷兰费尔德霍芬(Veldhoven)开幕,该实验室可提供High NA EUV扫描仪(TWINSCANEXE:5000)及周边处理工具。
2、声明中称,该实验室的启用是为大批量生产High NA EUV做准备的一个里程碑,预计将于2025-2026年实现大批量生产。
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