导读 【日本宣布开发出新技术,可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家
【日本宣布开发出新技术,可大幅降低极紫外光刻设备耗电量和制造成本】!!!今天受到全网的关注度非常高,那么具体的是什么情况呢,下面大家可以一起来看看具体都是怎么回事吧!
1、日本冲绳科学技术大学院大学开发出一项技术,可大幅降低极紫外光刻设备的耗电量和制造成本。
2、这项技术将从设备的光源到光刻的EUV路径上配置的反光镜数量从原来的10个减少到4个。
3、以EUV光源为中心,整体耗电量可减至原来的约十分之一。
4、设备的结构也可大幅简化,因此当前估计需要200亿日元左右的设备引入成本几乎可以减半。
5、该大学将与企业合作,力争实现这种设备的日本国产化。
6、(界面)。
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